Производство микроэлектроники

В производстве микроэлектроники система Phiplastic используется совместно с планшетными сканерами, преимущественно в проходящем свете. Контролю могут подвергаться любые объекты, имеющие достаточно большие размеры и обладающие цветовой контрастностью. Современные планшетные сканеры выдают изображения с размером пиксела порядка 5 мкм, что позволяет с успехом применять их в данной области. Геометрическая калибровка Phiplastic гарантирует точное совпадение образца с эталоном и точность выполняемых измерений.

Примеры применения систем Phiplastic на производстве микроэлектроники:

См. также: другие приложения систем Phiplastic.