Контроль материалов LTCC

Программное обеспечение Phiplastic позволяет значительно сократить затраты на систему оптического контроля, необходимую в любой технологической линии. В рамках технологии низкотемпературной совместно обжигаемой керамики (LTCC) система Phiplastic используется для контроля всех стадий производства: фотошаблонов, трафаретов, керамических листов с отверстиями и топологией, а также готовой продукции.

Дефект на трафарете
Дефекты отверстий: отсутствие и нарушение формы
  • Благодаря калибровке системы под сканер пользователя имеется возможность объективной оценки геометрии слоев на предмет соответствия эталону и совмещения друг с другом.
  • Высокое разрешение современных сканеров позволяет осуществлять точные измерения размеров и расстояний.

Материалы низкотемпературной совместно спеченной керамики до обжига обладают значительной эластичностью, что может приводить к нарушению геометрии на некоторых стадиях, например, при пробивке отверстий. Наложение изображения листа LTCC на векторный эталон дает возможность наглядно оценить геометрию заготовки. А возможность автоматизированных измерений позволяет определить реальную точность изготовления.

Векторный эталон на фоне слоя топологии
Совмещение топологии с эталоном, измерение зазора

В системе Phiplastic контролю можно подвергать следующие материалы LTCC:

  • сырые слои отверстий и топологии (до спекания);
  • трафареты на сетке;
  • фотошаблоны;
  • готовые изделия.
Дефекты межпроводникового зазора и ширины топологии на готовой плате
Они же в слое совмещения

Phiplastic позволяет сравнивать материалы LTCC с векторным эталоном и друг с другом в любых сочетаниях:

  • Наложение слоев на эталон и контроль общей геометрии, оценка сдвига элементов от идеального положения.
  • Автоматический контроль топологии на соответствие эталону с заданной точностью.
  • Автоматический контроль отверстий.
  • Совмещение слоев друг с другом по рисунку или по реперам, оценка растяжения материалов.
  • Встроенная поддержка коэффициента усадки.

Минимальная система контроля материалов LTCC - это комбинация Gold и Color. Решение Match добавляет возможность прямого сравнения двух цветных слоев без векторного эталона. Решение Inspection позволяет максимально автоматизировать процесс контроля, повышая производительность и достоверность.

См. также: другие примеры применения систем Phiplastic на производстве микроэлектроники.