Контроль промежуточных шаблонов ИМС

В процессе фотолитографии система Phiplastic может использоваться при контроле оригиналов для установок проекционной печати на кремний в различных масштабах.

  • Высокое разрешение современных сканеров позволяет получить изображение топологии приемлемого качества.
  • Геометрическая калибровка Phiplastic под сканер пользователя обеспечивает высокую точность совмещения сканированного образца и векторного эталона, полученного из CAD/CAM-системы.

В слое совмещения хорошо видно соответствие эталонной и фактической топологии. На рисунке ниже показан процесс автоматизированного измерения ширины зазора. Усреднение сотен элементарных измерений дает высокую точность и не требует от пользователя усилий. Возможно также измерение больших расстояний, таких как габаритные размеры изделия.

Слой совмещения, измерение зазора

Минимальная система контроля промежуточных шаблонов - это решение Gold. Решение Inspection позволит снизить трудоемкость и влияние человеческого фактора.

См. также: другие примеры применения систем Phiplastic на производстве микроэлектроники.